Alicat PF系列气体质量流量控制器 集成精密比例阀与闭环控制 支持RS-485/Profibus通信

Alicat PF系列气体质量流量控制器在质量流量计基础上集成精密比例阀与闭环控制算法，实现气体流量的精确设定与稳定自动调节。该设备支持多种气体预设参数、宽量程比与极速响应，广泛应用于半导体工艺、CVD/ALD、燃料电池供气及实验室反应等对流量稳定性要求高的科研与工业场景。